Improving the Processing Efficiency of Femtosecond Laser Sulfur Hyperdoping of Silicon by Diffractive Beam Shaping

Autor:in
Mc Kearney, Patrick cc
Lebershausen, Ingo cc
Paulus, Simon cc
Kontermann, Stefan cc
Datum
2023
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Metadata
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Aufsatz
Schlagworte
femtosecond-laser hyperdoping
black silicon
beam shaping
spatial light modulator
processing efficiency
DDC-Klassifikation
620 Ingenieurwissenschaften
530 Physik
Erschienen in
Journal of Laser Micro/Nanoengineering. (2023). 18, 2, S. 72-76. ISSN: 1880-0688, DOI: 10.2961/jlmn.2023.02.2003
Projektförderung
/ / 03INT701AA
Einrichtung
Fachbereich Ingenieurwesen
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BibTeX

@article{Mc Kearney2023,
    author={Mc Kearney, Patrick and Lebershausen, Ingo and Paulus, Simon and Kontermann, Stefan},
    title={Improving the Processing Efficiency of Femtosecond Laser Sulfur Hyperdoping of Silicon by Diffractive Beam Shaping},
    journal={Journal of Laser Micro/Nanoengineering},
    volume={18},
    number={2},
    pages={S. 72-76},
    year={2023},
    school={Hochschule RheinMain, Wiesbaden},
    url={https://hlbrm.pur.hebis.de/xmlui/handle/123456789/406}
}

Urheberrechtlich geschützt