Auflistung nach Schlagwort "Abluftreinigung"
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Potentiale zur Emissionsreduzierung von Stickstofftrifluorid (NF3) und Schwefelhexafluorid (SF6) in der Halbleiterindustrie
Bachelorarbeit
(Hochschule RheinMain, 2024)Stickstofftrifluorid (NF3) ist eine synthetische gasförmige anorganische Verbindung aus den Elementen Fluor und Stickstoff. Das Gas wird in der Halbleiterindustrie zur Reinigung der Innenwände von Kammern eingesetzt, in ...